首先，純水是指純凈水一般以城市自來水為水源，經過多層過濾，可將微生物等有害物質去除，但同時也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質。
其次，一、臭氧滅菌超純水處理
臭氧(O3)的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結構不穩定，很快自行分化成氧氣(O2)和單個氧原子(O);后者具有很強的活性，對細菌有極強的氧化效果，將其殺死，多余的氧原子則會自行重新結合成為普通氧原子(O2)，不存在任何有毒殘留物，故稱無污染消毒劑，它不但對各種細菌(包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等)有極強的殺滅才能，并且對殺死霉素也很有用。
1、臭氧的滅菌機制及進程類歸于生物化學進程，氧化分化了細菌內部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。
2、直接與細菌、病毒發生效果，損壞其細胞器和核糖核酸，分化DNA、RNA，蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝出產和繁殖進程到損壞。
3、滲透胞膜安排，侵入細胞膜內效果于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透畸變，導致細胞溶解逝世。并且將逝世菌體內遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原(細菌病毒代謝產物、內毒素)等溶解變性滅亡。
二、活性炭吸附純水處理工藝
活性炭依靠吸附和過濾效果主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機物雜質。
三、薄膜微孔過濾(MF)純水處理工藝
薄膜微孔過濾法包括三種辦法：深層過濾、篩網過濾、外表過濾。
深層過濾是以編織纖維或緊縮資料制成的基質，運用隋性吸附或是捕捉辦法來留住顆粒，如常用的多介質過濾或砂濾;深層過濾是一種較為經濟的辦法，可去除98%以上的懸浮固體，同時保護下游的純化單元不會被阻塞，因此一般做為預處理。
外表過濾則是多層結構，當溶液經過濾膜時，較濾膜內部孔隙大的顆粒將被留下來，并主要堆積在濾膜外表上，如常用的PP纖維過濾。外表過濾可去除99.9%以上的懸浮固體，所以也可作為預處理或澄清用。
篩網濾膜基本上是具有一致性的結構，就象篩子一般，將大于孔徑的顆粒，都留在外表上(這種濾膜的孔測量是十分精準的)，如超純水機終端運用的用點保安過濾器;篩網過濾微孔過濾一般被置于純化體系中的最終運用點，以去除最后的殘留微量樹脂片、碳屑、膠體和微生物。
四、離子交流(IX)純水處理工藝
離子交流法的原理是將水中的無機鹽陰陽離子如鈣離子Ca2+、鎂離子Mg2+、硫酸鹽SO42-、硝酸鹽NO3-等，經過與離子交流樹脂交流，使水中的陰、陽離子與樹脂中的陰陽離子相交流，從而使水得到純化。
五、反滲透(RO)純水處理工藝
它是以壓力為推動力，運用反滲透膜只能透水而不能透過溶質的選擇性，從含有各種無機物、有機物、微生物的水體中，提取純水的物質別離進程。反滲透膜的孔徑小于10埃(1埃等于10-10米)，具有極強的篩分效果，其脫鹽率高達99%，除菌率大于99.5%。可去除水中的無機鹽、糖類、氨基酸、細菌、病毒等雜質。如果以原水水質及產水水質為基準，經過適當設計后，RO是將自來水純化的最經濟的有用辦法，同時也是超純水體系最好的前處理辦法。
六、超過濾(UF)純水處理工藝
微孔薄膜是依其過濾孔徑的大小來去除微粒，而超濾(UF)薄膜則像一個分子篩，它以尺度為基準，讓溶液經過極微細的孔，以達到別離溶液中不同大小分子之目的。
超濾膜是一種強韌、薄、具有選擇性的通透膜，一般認為其過濾孔徑約為0.01μm，可截留某種特定大小以上的分子，包括：膠質、微生物和熱源。較小的分子，例如：水和離子，都可經過濾膜。
七、紫外線(UV)、臭氧滅菌超純水處理工藝
采用紫外燈所放射出來的254nm/185nm的紫外線可以有用的殺死細菌和降解有機物。
八、EDI純水處理工藝
一種新的去離子水處理辦法。又稱連續電除鹽技能，EDI設備將離子交流樹脂充夾在陰/陽離子交流膜之間構成EDI單元。這種辦法不需再用酸堿對樹脂進行再生，環保性好。
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